마모와 오염이 적고 전기적 특성을 조정할 수 있는 BALINIT DYLYN 코팅을 적용할 수 있습니다. 또한, Y₂O₃은 에칭 내성이 우수하고 TiN 및 CrN은 마모와 전기 전도성을 고려합니다.
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반도체 웨이퍼 척 및 페터스탈
| 솔루션 | 코팅 재료 | 코팅 기술 | 코팅 경도 HIT [GPa] | 마찰 계수 (건식) 대 강철 | 최대 서비스 온도 [°C] | 공정 온도 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
|
