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반도체 웨이퍼, 척 및 페터스탈

마모와 오염이 적고 전기적 특성을 조정할 수 있는 BALINIT DYLYN 코팅을 적용할 수 있습니다. 또한, Y₂O₃은 에칭 내성이 우수하고 TiN 및 CrN은 마모와 전기 전도성을 고려합니다.

솔루션 코팅 재료 코팅 기술 코팅 경도 HIT [GPa] 마찰 계수 (건식) 대 강철 최대 서비스 온도 [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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