Choose your country / language

반도체 웨이퍼, 척 및 페터스탈

마모와 오염이 적고 전기적 특성을 조정할 수 있는 BALINIT DYLYN 코팅을 적용할 수 있습니다. 또한, Y2O3은 에칭 내성이 우수하고 TiN 및 CrN은 마모와 전기 전도성을 고려합니다.

Solution Coating material Coating technology 코팅 경도 HIT [GPa] Coefficient of friction (dry) vs. steel Max. service temp. [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
Download
TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

질문이나 의견이 있으신 경우에는 연락주시기 바랍니다!

keyboard_arrow_up