DOMINO to mała, kompaktowa komora PVD stworzona do krótkich procesów. Idealna dla małych klientów z różnych branż. Obsługuje małe partie narzędzi od kilku do 100 sztuk. Jednocześnie imponuje różnorodnością dostępnych technologii.
- Szybkie procesy, czas trwania: 2-4 godziny
- APA Arc, HiPIMS lub technologia hybrid
- Możliwość korzystania z technologii PACVD oraz azotowania
- Mały, kompaktowy system PVD, wykonany w koncepcji „pod klucz”
| Właściwości | DOMINO pica |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| Przestrzeń użytkowa | Ø 330 mm x 300 mm |
| Dostępne moduły powłok | Łukowy, rozpylanie, HiPIMS, Hybrid, azotowanie |
| Parowniki APA | 2 do 6 |
| Magnetronowe źródła rozpylania | 1 do 3 |
| Dostępne zasilanie | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| Dostępne BIAS | Impuls biopolarny, middle frequency |
| Czyszczenie plazmowe | Wszystkie systemy wyposażone w opatentowane procesy silnego wytrawiania AEGD |
| Standardowy stół roboczy (inne na życzenie) |
5 wrzecion |