Wybierz kraj/język

oerlikon.com

METAPLAS.DOMINO micra Wszechstronne, kompaktowe rozwiązania PVD

METAPLAS.DOMINO micra

Micra METAPLAS.DOMINO jest bardzo wszechstronna.
Oferuje szeroką gamę technologii, zorientowaną na wymagających klientów. To platforma idealna, szczególnie jako system HiPIMS.

  • APA Arc, HiPIMS lub technologia HI3
  • Rozpylanie HiPIMS z 4 magnetronami i zsynchronizowanym, bipolarnym impulsowym BIASem
  • Połączone z PACVD i azotowaniem
  • Możliwość doposażenia, w zależności od technologii
Właściwości METAPLAS.DOMINO micra
Przestrzeń użytkowa Ø 450 mm x 500 mm
Dostępne moduły powłok Łukowy, rozpylanie, HiPIMS, HI3, azotowanie
Parowniki APA 3 do 12
Magnetronowe źródła rozpylania 1 do 4
Dostępne zasilanie DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Dostępne BIAS Impuls biopolarny, middle frequency
Czyszczenie plazmowe Wszystkie systemy wyposażone w opatentowane procesy silnego wytrawiania AEGD
Standardowy stół roboczy
(inne na życzenie)		 6 wrzecion
keyboard_arrow_up