言語

oerlikon.com
DOMINO pica

DOMINO pica 小ロット・短時間プロセスに最適なPVD装置

DOMINO pica

DOMINO picaは、小型でコンパクトなPVD装置で、高速かつ短時間の処理向けに設計されています。特に、数百個までの小ロットで稼働する様々な産業の小型部品のコーティングに使用され、その柔軟な技術的オプションは今もなお印象的です。

  • 2～4時間の高速・短時間バッチ処理
  • APA アーク、 HiPIMSスパッタリングまたは HI3技術
  • PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
  • エリコンバルザースのターンキーコンセプトによるPVDスタートアップのための小型で、コンパクトなシステム
顧客事例：バイロイト大学

科学のためのPVD技術： バイロイト（Bayreuth）大学がエリコンと新境地を開拓

DOMINO pica PVDシステムによる革新的研究： トライボロジーと表面工学で先駆的な開発用途に最大限の柔軟性を発起

ステファン・トレメル教授（Prof..Dr-Ing. Stephan Tremmel） 率いるバイロイト大学の工学設計・CAD担当は、材料科学と工学に重点を置いています。トライボロジーと表面技術分野の研究をさらに進めるため、同大学はエリコンの最新鋭DOMINO pica PVDコーティングシステムを導入しました。

このシステムは主に、幅広い技術用途に向けた最先端の薄膜形成の研究に使用されています。さらにこのコーティング技術は機械部品のトライボロジーに関する最適化に加え、センサー技術やトライボエレクトリック・ナノジェネレーター（TENG）によるエネルギー採取の分野でも研究されています。

研究に新たな展望を開く

これまでバイロイト大学では、新しいコーティングの開発をサポートする最新技術を持つPVDコーティングシステムを利用することができませんでした。DOMINO picaの導入により、この溝が解消されました。Tremmel教授は、このシステムのコンパクトなチャンバー容積が学術研究に理想的であり、開発したコーティングを工業用途に直接移行することができ、コーティング開発中の資源も節約できると強調しています。

重要な利点としてのモジュール性と柔軟性　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

DOMINOシステムは、事前に設定されたレシピやパラメータ制限に依存しない柔軟な制御を可能にするモジュール式構成を特徴としています。学術研究者であり博士号候補者でもあるChristian Orgeldinger氏は、自由にプログラム可能なHiPIMSパルサーに特に感銘を受けています。このパルサーは、周波数ジェネレーターを介して同期され、プロセス制御の全く新しい可能性を切り開きます。3つのマグネトロンと革新的なAEGDエッチングプロセスを備えたDOMINO picaは、実験的研究に最適なプラットフォームを提供します。

研究に新たな展望を開く

有望な最初の研究結果

このシステムの委託を受けて以来、研究チームは主にDLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングの構成を研究しており、すでに大きな期待が寄せられています。同大学は、層構造、密着性、化学的・機械的特性、トライボロジーや電気的挙動など、詳細な分析を行っています。

オーダーメイドのPVDシステムのための専門家指導

バイロイト大学は、エリコン・バルザースが提供する装置構成から納入、試運転、継続的な技術支援に至るまで の包括的なサポートを高く評価しています。特に研究チームは、革新的で型破りな研究テーマに真摯に取り組むエリコン・バルザースの姿勢を高く評価しており、これは学術機関との真のパートナーシップを育むという同社の姿勢を反映しています。

大学の研究開発向けモジュラーシステム

DOMINOシリーズの中で最もコンパクトなモデルであるDOMINO picaは、大学や研究機関向けのモジュラーコーティングシステムの利点を体現しています。そのフレキシブルなプラットフォームは、特定の研究ニーズに合わせたモジュールの統合を可能にし、表面およびコーティング技術の新たな発展の基礎を築きます。

お問い合わせ

Oerlikon Japan Co. Ltd. Balzers

お問い合せ先

エリコンジャパン株式会社　バルザース事業本部; 〒254-0014, 神奈川県平塚市四之宮7-2-2

© Copyright 2025 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up