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INLENIA kila大量生産プラットフォーム

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INLENIA kila

INLENIA kilaは大量生産ニーズ向け主力装置です。12ツリーのバッチ積載容量がより多くの工具コーティングを可能にします。INLENIAは標準工具のコーティングに最適なシステムであり、非常に多用途の生産が可能です。

  • 仕様

    従来のHiPIMSテクノロジーより極めて高速*

    12本のツリーにより、INLENIAはINNOVAと比較し20%以上の積載バッチ容量実現。

    INLENIA kila

    1日4バッチ
    典型的なプロセス時間5 - 6 時間


    INLENIA kila dimensions

    寸法

    • 長さ: 4,430 mm
    • 幅: 2,330 mm
    • 高さ: 2,460 mm
    • 設置面積: 10.7 sqm
    • 重量: 7,000 kg**

    * コーティング時間(ローディング時間は含まない)
    ** 積載カルーセルは除く

    INLENIA kila

    回転軽
    700 mm
    コーティング可能高さ
    400 mm
    最大積載重量
    600 kg
    テクノロジー
    S3p®
    マグネットシステム
    4 S3p®スパッタモジュール
    エッチング
    サイドエッチングテクノロジー(SET)
    スピンドル数
    最大12
     
     
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