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半導体ウエハー搬送装置

BALINIT DYLYN コーティングは、汚染や可変伝導性を減らすために使用されます。
BALINIT A (TiN) は、DYLYN より伝導性が高い場合に使用されます。

ソリューション コーティング材 コーティング技術 コーティング硬さHIT [GPa] 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール 最高使用温度 [°C] 処理温度 [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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