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METAPLAS.DOMINO kila 経済性に優れたPVDコーティング装置

METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila
METAPLAS.DOMINO kila

優れた密着性を実現するための新しいADVANCED AEGD技術と、APAアーク技術をベースに、METAPLAS.DOMINO kilaは高品質コーティングを高い費用対効果で実現するために設計されています。標準化された技術パッケージを魅力的な価格で提供し、スパッタリングや窒化などのいくつかの追加技術でアップグレードが可能です。

  • AlCrX、AlTiX、CrSiXなどをベースとした高性能、低ドロップレットのアークコーティング(「コーティング」参照)
  • 短いサイクルタイムと高い蒸発率
  • 新しいエッチング技術 ADVANCED AEGD
  • 窒化およびスパッタリング技術のレトロフィット可能
特性 METAPLAS.DOMINO kila
コーティング使用可能容積 Ø 620 mm x 700 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク, 窒化
Only as upgrade スパッタ, HiPIMS, HI3
APAアークソース取り付け可能数 4 - 16
スパッタ式ソース取り付け可能数 1 - 4
使用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS, 双極パルス
使用可能な BIAS 双極性パルス
プラズマ洗浄 ADVANCED AEGD搭載装置
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)
9 軸
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