優れた密着性を実現するための新しいADVANCED AEGD技術と、APAアーク技術をベースに、DOMINO kilaは高品質コーティングを高い費用対効果で実現するために設計されています。標準化された技術パッケージを魅力的な価格で提供し、スパッタリングや窒化などのいくつかの追加技術でアップグレードが可能です。
- AlCrX、AlTiX、CrSiXなどをベースとした高性能、低ドロップレットのアークコーティング（「コーティング」参照）
- 短いサイクルタイムと高い蒸発率
- 新しいエッチング技術 ADVANCED AEGD
- 窒化およびスパッタリング技術のレトロフィット可能
| 特性 | DOMINO kila |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| コーティング使用可能容積 | Ø 620 mm x 700 mm |
| 利用可能なコーティングモジュール | アーク, 窒化 |
| Only as upgrade | スパッタ, HiPIMS, Hybrid |
| APAアークソース取り付け可能数 | 4 - 16 |
| スパッタ式ソース取り付け可能数 | 1 - 4 |
| 使用可能な電源 | DC, DCパルス, HiPIMS, 双極パルス |
| 使用可能な BIAS | 双極性パルス |
| プラズマ洗浄 | ADVANCED AEGD搭載装置 |
| 基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能) |
9 軸 |