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拡張可能なパルス出力プラズマ

S3p – 拡張可能なパルス出力プラズマ

Oerlikon Balzers - S3p

S3p は、アーク蒸着とスパッタリング技術のメリットを組み合わせたものです

  • 飛沫を発生させず、プロセス中に高イオン化を実現
  • スムースなコーティング表面
  • 非常に高いコーティング密度と硬度
  • 優れた密着性

独自のプロセスウィンドウと、次の個別のスケーラビリティ

  • パルス長
  • パルス形
  • 電流密度

コーティングデザインにおいて、前例のないテクノロジーを切り開きます。個々のアプリケーション要件を正確に満たす、カスタマイズされたコーティングが S3p によって現実となりました。

アーク蒸着

アーク蒸着では、高電流の小さなスポットが対象物の表面を移動します。素材は即座に溶解し、金属蒸気が作業対象物上で凝結します。このプロセスは爆発性であるため、液体金属の飛沫が発生し、コーティング表面が滑らかではなくなる場合があります。合成物を形成するために反応性ガスを導入することができます。

プロセスの特性:
  • 高イオン化
コーティング特性:
  • 高密度、高硬度
  • 優れた密着性
  • 滑らかさに欠ける、飛沫

スパッタリング

スパッタリングは、対象物へのエネルギー粒子の照射により、固体の対象素材から原子が放出されるプロセスです。薄膜コーティングでは、アルゴンイオンを固体の対象物へと加速させ、加工対象物で収集される金属原子をたたき出すことで行われます。金属窒化物などの合成物は、真空チャンバー内のガスを取り込むことで形成されます。

プロセスの特性:
  • 低イオン化
コーティング特性:
  • 低密度、低硬度
  • 中程度の接着性
  • スムースな表面

歴史に残るコーティング

技術的マイルストーンに到達しています。BALIQTM - エリコンバルザースによる新世代のコーティング。

アーク蒸着とスパッタリングの優位性をインテリジェントに組み合わせた、当社の S3p テクノロジー(スケーラブルなパルス出力プラズマ)に基いています。

アーク蒸着とスパッタリングの優位性をインテリジェントに組み合わせた、当社の S3p テクノロジー(スケーラブルなパルス出力プラズマ)に基いています。 BALIQTMが誕生しました。お客様のニーズに最適に調整されたコーティングという、これまでの経験を超える新たな可能性というメリットをもたらします。

BALIQ: the journey of wear-resistant coatings tailored to your needs

Features

  • Precision
    Precision

    The high precision in coating thickness distribution guarantees a high precision of the cutting edges. Outstanding results are achieved especially with tools that have ultra-small diameters.

  • Scalability
    Scalability

    Precise and independent scalability of pulse duration, -shape and unique power scalability within S3p enables tailored coatings. The limits of conventional HiPIMS are overcome with the unique process window as well as significantly higher deposition rates and process stability.

     
     
  • Smoothness
    Smoothness

    The revolutionary smooth surface and the low defects of S3p based coatings enable smooth chip evacuation. A mechanical post-treatment is not needed. Adhesion of workpiece material especially for difficult to machine materials and build-up edges are avoided even with difficult-to-machine materials.

  • Coating Design
    Coating Design

    A large variety of different coating materials can be used with S3p technology. This enables a high number of different application specific coating solutions.

  • Adhesion
    Adhesion

    S3p based coatings stand out by a very good coating-substrate bonding. High adhesion – at least as high as with coatings deposited by Arc Evaporation - guarantees long and reproducible tool life times.

  • Hardness
    Hardness

    Arc as well as S3p based coatings show a high coating hardness, which result in a high abrasive wear resistance of the coatings.

  • Density
    Density

    The coating density of S3p based coatings approaches bulk density. DC-sputter coatings show a more open columnar structure, with its disadvantage of lower toughness and less resistance to crack propagation and diffusion.

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