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PVD ベースの工程 PVD 工程

PVD ベースの工程

PVD コーティングとは

PVD は、Physical Vapour Deposition (物理真空蒸着) の略です。PVD 工程は高真空状態で、一般的に 150 °C から 500 °C の温度で実施されます。

PVD 工程の流れ

PVD 工程では、高純度の固形コーティング材 (チタンやクロム、アルミなどの金属類) を熱またはイオン衝撃で蒸発させます(スパッタリング)。同時に反応性ガス (例:窒素、カーボンを含むガス) が加えられます。反応性ガスは、金属蒸気を含む化合物を生成し、薄くて密着性の高い膜として工具・金型や部品に蒸着します。工具・金型および部品を一定の速度で複数軸に回転させることで、均一な膜厚が得られます。

コーティング特性 (硬度、構造、耐腐食性・耐熱性、密着性) を厳密に制御できます。

PVD 工程にはアーク蒸着やスパッタリング、イオンプレーティング、エンハンスドスパッタリングなどがあります。

一般的な PVD 工程のほか、エリコンバルザース独自の工程を行うこともできます。

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