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METAPLAS.DOMINO pica 小ロット・短時間プロセスに最適なPVD装置

METAPLAS.DOMINO picaは、小型でコンパクトなPVD装置で、高速かつ短時間の処理向けに設計されています。特に、数百個までの小ロットで稼働する様々な産業の小型部品のコーティングに使用され、その柔軟な技術的オプションは今もなお印象的です。

あらゆる生産ニーズに対応する多様なサイズが選べるコンパクト装置

特性	METAPLAS.DOMINO pica
コーティング使用可能容積	Ø 330 mm x 300 mm
利用可能なコーティングモジュール	アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数	2 - 6
スパッタ式ソース取り付け可能数	1 - 3
使用可能な電源	DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
使用可能な BIAS	双極性パルス, middle frequency
プラズマ洗浄	全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能)	5 軸

お問い合せ先

エリコンジャパン株式会社　バルザース事業本部; 〒254-0014, 神奈川県平塚市四之宮7-2-2

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