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METAPLAS.DOMINO pica 小ロット・短時間プロセスに最適なPVD装置

METAPLAS.DOMINO pica

METAPLAS.DOMINO picaは、小型でコンパクトなPVD装置で、高速かつ短時間の処理向けに設計されています。特に、数百個までの小ロットで稼働する様々な産業の小型部品のコーティングに使用され、その柔軟な技術的オプションは今もなお印象的です。

  • 2~4時間の高速・短時間バッチ処理
  • APA アーク、 HiPIMSスパッタリングまたは HI3技術
  • PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
  • エリコンバルザースのターンキーコンセプトによるPVDスタートアップのための小型で、コンパクトなシステム

チャンバーが統合された装置

あらゆる生産ニーズに対応する多様なサイズが選べるコンパクト装置

特性 METAPLAS.DOMINO pica
コーティング使用可能容積 Ø 330 mm x 300 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数 2 - 6
スパッタ式ソース取り付け可能数 1 - 3
使用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
使用可能な BIAS 双極性パルス, middle frequency
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)
5 軸
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