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スパッタリング

スパッタリング

PVD 工程ではコーティング用真空チェンバー内の部品は、必ず熱工程を実施してから、アルゴンイオンの衝突によりエッチングされます。その結果、金属の表面から汚れが除去され、原子レベルの汚染もすべて排除されます (最適なコーティング密着性を確保する重要な条件)。

その後、高い負電圧がコーティング材を含むスパッタリング源に印加します。電気ガスが放出されることでプラスのアルゴンイオンが形成され、コーティング材は瞬時に霧状になります。このガス工程において、蒸発し、霧状になった金属は、硬質コーティングである非金属部品のガスと反応します。

最終的に、望み通りの構造と成分をもつ薄くてきめ細やかな膜が蒸着します。

  1. 1.アルゴン
  2. 2.反応性ガス
  3. 3.平板マグネトロン蒸着ソース (コーティング材)
  4. 4.部品 / 工具・金型
  5. 5.真空ポンプ
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