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METAPLAS.DOMINO giga flex 大量生産・大型部品に対応

METAPLAS.DOMINO giga flex

METAPLAS.DOMINO giga flex は、当社のPVD装置の中で最も巨大な装置です。最大重量3トン、高さ1.5mの部品に、自動車業界の連続生産品と同等のコーティングを、最小限のコストで実現します。

このシステムは、新しいADVANCED AEGDエッチング技術によるAPAアークレイヤーとマグネトロンスパッタレイヤーを成膜し、装飾や他のコーティングアプリケーションなどのために、アークとスパッタリングの複合システムへとアップグレードすることが可能です。

  • APAアークテクノロジーと最大4つのフランジおよび/またはマグネトロンスパッタリング
  • 最大3トンの荷重と直径1200mm×高さ1500mmの部品に対応
  • 新エッチング技術 ADVANCED AEGD
  • 窒化処理とスパッタリング技術のレトロフィット可能
  • 満載時の1個あたりのコストが最も低い
特性 METAPLAS.DOMINO giga flex
コーティング使用可能容積 Ø 1,200 mm x 1,500 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数 8 - 32
スパッタ式ソース取り付け可能数 1 - 4
使用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
使用可能な BIAS 双極性パルス, middle frequency
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)
最大32軸
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