DOMINO giga flex は、当社のPVD装置の中で最も巨大な装置です。最大重量3トン、高さ1.5mの部品に、自動車業界の連続生産品と同等のコーティングを、最小限のコストで実現します。
このシステムは、新しいADVANCED AEGDエッチング技術によるAPAアークレイヤーとマグネトロンスパッタレイヤーを成膜し、装飾や他のコーティングアプリケーションなどのために、アークとスパッタリングの複合システムへとアップグレードすることが可能です。
- APAアークテクノロジーと最大4つのフランジおよび/またはマグネトロンスパッタリング
- 最大3トンの荷重と直径1200mm×高さ1500mmの部品に対応
- 新エッチング技術 ADVANCED AEGD
- 窒化処理とスパッタリング技術のレトロフィット可能
- 満載時の1個あたりのコストが最も低い
| 特性 | DOMINO giga flex |
|---|---|
| Equipment type | flex (2 chamber doors) |
| コーティング使用可能容積 | Ø 1,200 mm x 1,500 mm |
| 利用可能なコーティングモジュール | アーク,スパッタ, HiPIMS, (Hybrid, 窒化) |
| APAアークソース取り付け可能数 | 8 - 32 |
| スパッタ式ソース取り付け可能数 | 1 - 4 |
| 使用可能な電源 | DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能) |
| 使用可能な BIAS | 双極性パルス, middle frequency |
| プラズマ洗浄 | 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備 |
| 基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能) |
最大32軸 |