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METAPLAS.DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで 汎用性の高いソリューション

METAPLAS.DOMINO micra

METAPLAS.DOMINO micraは1つのプラットフォームでほぼ全ての要求を満たします。
顧客の要望に応じた多様な技術を可能にし、特にHiPIMSシステムとして最適なプラットフォームです。

  • APA アーク、HiPIMSスパッタリングまたは HI3テクノロジー
  • 4台のマグネトロンと同期した双極性パルスBIASによるHiPIMSスパッタリング
  • PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
  • 顧客の要望に応じた各種技術のレトロフィット
特性 METAPLAS.DOMINO micra
コーティング使用可能容積 Ø 450 mm x 500 mm
利用可能なコーティングモジュール アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数 3 - 12
スパッタ式ソース取り付け可能数 1 - 4
使用可能な電源 DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
使用可能な BIAS 双極性パルス, middle frequency
プラズマ洗浄 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数
(要望に応じて増減可能)
6 軸

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