METAPLAS.DOMINO micraは1つのプラットフォームでほぼ全ての要求を満たします。
顧客の要望に応じた多様な技術を可能にし、特にHiPIMSシステムとして最適なプラットフォームです。
- APA アーク、HiPIMSスパッタリングまたは HI3テクノロジー
- 4台のマグネトロンと同期した双極性パルスBIASによるHiPIMSスパッタリング
- PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
- 顧客の要望に応じた各種技術のレトロフィット
言語
Global
Americas
-
Argentina
-
Brazil
-
Canada
-
Mexico
-
USA
Europe
-
Austria
-
Belgium
-
Czech Republic
-
Finland
-
France
-
Germany
-
Hungary
-
Italy
-
Luxembourg
-
Netherlands
-
Poland
-
Portugal
-
Romania
-
Slovakia
-
Turkey
-
United Kingdom
Asia
-
China
-
India
-
Indonesia
-
Japan
-
Korea
-
Malaysia
-
Philippines
-
Singapore
-
Vietnam
METAPLAS.DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで 汎用性の高いソリューション
| 特性 | METAPLAS.DOMINO micra |
|---|---|
| コーティング使用可能容積 | Ø 450 mm x 500 mm |
| 利用可能なコーティングモジュール | アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化) |
| APAアークソース取り付け可能数 | 3 - 12 |
| スパッタ式ソース取り付け可能数 | 1 - 4 |
| 使用可能な電源 | DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能) |
| 使用可能な BIAS | 双極性パルス, middle frequency |
| プラズマ洗浄 | 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備 |
| 基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能) |
6 軸 |
