BALINIT FUTURA NANO は一般的に、真空真空スクリューポンプを摩耗から保護します。 Y₂O₃ は、フッ化化学物質に対するエッチ耐性が証明されており、部品のサービス寿命を高めます。
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真空スクリューポンプ
| ソリューション | コーティング材 | コーティング技術 | コーティング硬さHIT [GPa] | 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール | 最高使用温度 [°C] | 処理温度 [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TiAlN | Arc | 33 +/- 3 | ~0.6 | 900 | 500 |
|
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