Choose your country / language

oerlikon.com
BALORA HALONA

BALORA HALONA Kiváló korrózióállóság a hosszú élettartamú félvezető‑teljesítményért

Félvezető maratókamra alkatrész

A BALORA® HALONA egy PVD bevonat, amelyet kifejezetten nagy igénybevételű plazma-etching (plazma-maratás) alkalmazásokhoz fejlesztettek ki. Kiemelkedő kémiai és abrazív kopásállóságot biztosít, így megfelel a jelenlegi és jövőbeli félvezetőipari követelményeknek.

  • Úgy fejlesztették ki, hogy gyakorlatilag teljesen reakcióképtelen legyen a fluor-plazma kémiai környezetével szemben
  • Ideális a 10 nm alatti maratási folyamatokhoz, sík és összetett geometriájú kamraalkatrészek esetén egyaránt
  • Alacsony részecskeképződést, hosszabb alkatrész-élettartamot, magas kihozatalt és alacsonyabb üzemeltetési költséget (CoO) biztosít
  • 100%-ban tömör bevonat

Alternatív termékek

Kapcsolat

Oerlikon Balzers Coating Austria GmbH, Magyarországi Fióktelepe; H-8000 Székesfehérvár, Alba Ipari Zóna, Babér u. 6, Magyarország

© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG

Ugrás a lap tetejére keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up