DOMINO pica 小ロット・短時間プロセスに最適なPVD装置

DOMINO picaは、小型でコンパクトなPVD装置で、高速かつ短時間の処理向けに設計されています。特に、数百個までの小ロットで稼働する様々な産業の小型部品のコーティングに使用され、その柔軟な技術的オプションは今もなお印象的です。

• 2～4時間の高速・短時間バッチ処理
• APA アーク、 HiPIMSスパッタリングまたは HI3技術
• PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
• エリコンバルザースのターンキーコンセプトによるPVDスタートアップのための小型で、コンパクトなシステム