DOMINO pica 是一种小巧紧凑型 PVD 系统，专为快速、短流程而设计。它特别用于涂覆来自不同行业的小零件，几百个刀具模具的小批量，并且仍然以其灵活的技术选择令人印象深刻。
- 2-4 小时的快速和短批次时间
- APA Arc、HiPIMS 溅射或 hybrid 技术
- 还可与 PACVD 和氮化工艺相结合
- 适用于 刚起步开展PVD业务的小巧紧凑系统，采用欧瑞康巴尔查斯的交钥匙概念
| 属性 | DOMINO pica |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| 可用涂层容量 | Ø 330 mm x 300 mm |
| 可用涂层模块 | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| APA 电弧蒸发器 | 2 - 6 |
| 磁控溅射源 | 1 - 3 |
| 可用电源 | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| 可设置偏压 | Bipolar pulse, middle frequency |
| 等离子清洁 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| 标准工作台(其他可根据需求) | 5 轴 |