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METAPLAS.DOMINO pica

METAPLAS.DOMINO pica 是一种小巧紧凑型 PVD 系统,专为快速、短流程而设计。它特别用于涂覆来自不同行业的小零件,几百个刀具模具的小批量,并且仍然以其灵活的技术选择令人印象深刻。

  • 2-4 小时的快速和短批次时间
  • APA Arc、HiPIMS 溅射或 HI3 技术
  • 还可与 PACVD 和氮化工艺相结合
  • 适用于 刚起步开展PVD业务的小巧紧凑系统,采用欧瑞康巴尔查斯的交钥匙概念

设备拥有集成腔室

拥有不同尺寸的紧凑型设备,适合所有生产需求。

属性 METAPLAS.DOMINO pica
可用涂层容量 Ø 330 mm x 300 mm
可用涂层模块 Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 电弧蒸发器 2 - 6
磁控溅射源 1 - 3
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
等离子清洁 All systems equipped with patented power etching process AEGD
标准工作台(其他可根据需求) 5 轴

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