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METAPLAS.DOMINO pica

METAPLAS.DOMINO pica는 작고 컴팩트한 PVD 코팅 시스템으로 빠르고 짧은 프로세스용으로 설계되었습니다. 이 제품은 특히 최대 몇 백 개의 공구로 소규모 배치를 처리할 수 있어 다양한 산업에서 사용되는 작은 부품의 코팅 시 유용하며, 다양한 기술 옵션을 적용할 수 있습니다.

  • 2~4시간의 빠르고 짧은 배치 시간
  • APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 또는 HI3 기술
  • PACVD 및 질화 공정과도 결합 가능
  • Oerlikon Balzers의 턴키 컨셉을 사용, PVD 스타트업을 위한 작고 컴팩트한 시스템

Equipment with integrated chamber

Compact equipment in different sizes for all production needs.

특성 METAPLAS.DOMINO pica
유효 코팅 볼륨 Ø 330 mm x 300 mm
사용 가능 코팅 모듈 Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 아크 증발기 2 to 6
마그네트론 스퍼터 소스 1 to 3
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
플라스마 세척 All systems equipped with patented power etching process AEGD
표준 모재 테이블
(요청 시 다른 테이블 제공 가능)
5 축

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