DOMINO pica는 작고 컴팩트한 PVD 코팅 시스템으로 빠르고 짧은 프로세스용으로 설계되었습니다. 이 제품은 특히 최대 몇 백 개의 공구로 소규모 배치를 처리할 수 있어 다양한 산업에서 사용되는 작은 부품의 코팅 시 유용하며, 다양한 기술 옵션을 적용할 수 있습니다.
- 2~4시간의 빠르고 짧은 배치 시간
- APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 또는 hybrid 기술
- PACVD 및 질화 공정과도 결합 가능
- Oerlikon Balzers의 턴키 컨셉을 사용, PVD 스타트업을 위한 작고 컴팩트한 시스템
| 특성 | DOMINO pica |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| 유효 코팅 볼륨 | Ø 330 mm x 300 mm |
| 사용 가능 코팅 모듈 | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| APA 아크 증발기 | 2 to 6 |
| 마그네트론 스퍼터 소스 | 1 to 3 |
| 사용 가능한 전원 공급 장치 | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| 사용가능한 BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| 플라스마 세척 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| 표준 모재 테이블 (요청 시 다른 테이블 제공 가능) |
5 축 |