Die DOMINO pica ist die ideale Wahl für kleine Chargen, schnelle Prozessentwicklung und kurze Durchlaufzeiten. Ob an Universitäten, in Forschungsinstituten, Münzprägeanstalten, Pilotprojekten oder bei kleineren Lohnbeschichtern: Das kompakte System kombiniert bewährte Beschichtungstechnologien mit einem hohen Maß an Flexibilität. Es eignet sich insbesondere für die Beschichtung kleinerer Bauteile und Anwendungen, bei denen schnelle Ergebnisse und effiziente Entwicklungszyklen gefragt sind.
- Schnelle und kurze Chargenzeiten von 2-4 Stunden
- APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder Hybrid-Technologie
- Kombination auch mit PACVD und Nitrierprozess
- Kleine kompakte Anlage für PVD Startups mit Turnkey-Konzept von Oerlikon Balzers
| Eigenschaften | DOMINO pica |
|---|---|
| Anlagentyp | compact (1 Kammertür) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 330 mm x 300 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 2 bis 6 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 3 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage) |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
5 Spindeln |