El equipo DOMINO pica es un sistema de PVD pequeño y compacto y está diseñado para procesos rápidos y cortos. Se utiliza especialmente para recubrir piezas pequeñas de distintas industrias con cargas pequeñas de hasta alrededor de 100 herramientas y que impresiona con sus flexibles opciones tecnológicas.
- Tiempos de producción rápidos y cortos de 2-4 horas
- APA Arc, HiPIMS sputtering o tecnología hybrid
- Combinación posible con PACVD y proceso de nitruración
- Sistema pequeño y compacto para nuevas empresas PVD con el concepto llave en mano de Oerlikon Balzers
Equipo con cámara integrada
Equipo compacto en diferentes tamaños para todas las necesidades de producción.
| Propiedades | DOMINO pica |
|---|---|
| Volumen útil de recubrimiento | Ø 330 mm x 300 mm |
| Módulos de recubrimiento disponibles | Arco, Pulverización, HiPIMS, Hybrid, Nitruración |
| Evaporadores de arco APA | 2 a 6 |
| Fuentes de pulverización del magnetrón | 1 a 3 |
| Fuentes de alimentación disponibles | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| BIAS disponible | Bipolar pulse, middle frequency |
| Limpieza de plasma | Todos los sistemas equipados con el proceso de grabado por energía AEGD patentado |
| Tabla de substrato estándar (otras por solicitud) |
5 ejes |