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METAPLAS.DOMINO pica

Die METAPLAS.DOMINO pica ist eine kleine, kompakte PVD-Anlage und ist ausgelegt für schnelle, kurze Prozesse. Sie dient besonders zum Beschichten von Kleinteilen aus unterschiedlichen Industrien mit kleinen Chargen bis hin zu einigen 100 Werkzeugen und besticht trotzdem durch eine flexible Technologiebestückung.

  • Schnelle und kurze Chargenzeiten von 2-4 Stunden
  • APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder HI3-Technologie
  • Kombination auch mit PACVD und Nitrierprozess
  • Kleine kompakte Anlage für PVD Startups mit Turnkey-Konzept von Oerlikon Balzers

Anlage mit integrierter Kammer

Kompakte Anlage in unterschiedlichen Größen für jeglichen Produktionsbedarf.

Eigenschaften METAPLAS.DOMINO pica
Verwendbares Beschichtungsvolumen Ø 330 mm x 300 mm
Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
ARC-Verdampfer 2 bis 6
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 3
Verfügbare Leistungsversorgungen DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage)
Verfügbare BIAS bipolar gepulst, Mittelfrequenz
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
5 Spindeln

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