Le DOMINO pica est un petit système PVD compact conçu pour les processus rapides et courts. Elle est utilisée en particulier pour le revêtement de petites pièces provenant de différentes industries, en petites séries jusqu'à quelques centaines d'outils, et impressionne toujours par ses options technologiques flexibles.
- Temps de traitement rapides et courts de 2 à 4 heures
- Arc APA, pulvérisation HiPIMS ou technologie hybrid
- Combinaison également avec le procédé PACVD et la nitruration
- Petit système compact pour les démarrages PVD avec un concept clé en main d'Oerlikon Balzers
| Properties | DOMINO pica |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| Usable coating volume | Ø 330 mm x 300 mm |
| Available coating modules | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| APA arc evaporators | 2 to 6 |
| Magnetron sputter sources | 1 to 3 |
| Available power supplies | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| Available BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| Plasma cleaning | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| Standard substrate table (others upon request) |
5 shafts |