El DOMINO pica es una máquina de PVD pequeña y compacta y está diseñada para procesos rápidos y cortos. Se utiliza para recubrir piezas pequeñas de diferentes industrias que ejecutan cargas de hasta unas 100 herramientas y todavía impresiona con sus opciones tecnológicas flexibles.
- Tiempo de procesamiento de 2-4 horas
- Con tecnología APA Arc, HiPIMS sputtering o hybrid technology
- Combinación también con PACVD y proceso de nitruración
- Equipo pequeño y compacto para nuevas empresas de PVD con un concepto totalmente Oerlikon Balzers
| Propiedades | DOMINO pica |
|---|---|
| Equipment type | compact (1 chamber door) |
| Volumen útil de recubrimiento | Ø 330 mm x 300 mm |
| Módulos de recubrimiento disponibles | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| Evaporadores de arco APA | 2 a 6 |
| Fuentes de pulverización del magnetrón | 1 a 3 |
| Available power supplies | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| Available BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| Available BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| Limpieza de plasma | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| Tabla de substrato estándar (otras por solicitud) |
5 ejes |