Choose your country / language

oerlikon.com
BALORA HALONA

BALORA HALONA Špičková ochrana proti korozi pro dlouhodobý výkon polovodičů

Součástka komory pro leptání polovodičů

BALORA® HALONA je PVD povlak vyvinutý pro vysoce náročné plazmové leptání, který nabízí výjimečnou chemickou odolnost a odolnost proti abrazi – splňuje současné i budoucí požadavky polovodičového průmyslu.

  • Navržen tak, aby byl prakticky nereaktivní vůči fluorovým plazmovým chemickým procesům
  • Ideální pro leptací procesy pod 10 nm u plochých i tvarově složitých komponent komory
  • Zajišťuje nízkou tvorbu částic, prodlouženou životnost komponent, vysoký výtěžek a snížené celkové náklady vlastnictví (CoO)
  • Povlak se 100% hustotou

Alternativní produkty

Kontakty

Oerlikon Balzers Coating Austria GmbH - organizační složka; Červený Kříž 282, 586 02 Jihlava, Česko

© Copyright 2026 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up