DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで 汎用性の高いソリューション

DOMINO micraは1つのプラットフォームでほぼ全ての要求を満たします。
顧客の要望に応じた多様な技術を可能にし、特にHiPIMSシステムとして最適なプラットフォームです。

• APA アーク、HiPIMSスパッタリングまたは HI3テクノロジー
• 4台のマグネトロンと同期した双極性パルスBIASによるHiPIMSスパッタリング
• PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
• 顧客の要望に応じた各種技術のレトロフィット