O DOMINO micra atende aos requisitos de quase todos os desafios em uma plataforma. Isso permite uma ampla variedade de tecnologia de acordo com os requisitos e é uma plataforma perfeita, especialmente como um sistema HiPIMS.
- APA Arc, HiPIMS sputtering ou tecnologia hybrid
- HiPIMS com 4 magnetrons e BIAS sincronizado, bipolar pulsado
- Combinação também com PACVD e processo de nitretação
- Retrofitting de várias tecnologias, dependendo das exigências do cliente
| Propriedades | DOMINO micra |
|---|---|
| Volume de revestimento útil | Ø 450 mm x 500 mm |
| Módulos de revestimento disponíveis | Arco, sublimação catódica, HiPIMS, Hybrid, Nitretação |
| Evaporadores por arco APA | 3 a 12 |
| Fontes de sublimação catódica magnetrônica | 1 a 4 |
| Fontes de alimentação disponíveis | DC, DC pulso, frequência média (MF), HiPIMS, (RF a pedido) |
| BIAS disponível | Pulso bipolar, frequência média |
| Limpeza com plasma | Todos os sistemas equipados com o processo patenteado de gravação AEGD |
| Tabela de substrato padrão (outros, a pedido) |
6 eixos |