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METAPLAS.DOMINO micra 고객 맞춤형 PVD 솔루션을 위한 광범위한 소형 코팅 솔루션

METAPLAS.DOMINO micra

METAPLAS.DOMINO micra는 하나의 플랫폼에서 거의 모든 요구 조건을 충족시킬 수 있습니다.
고객의 요구에 따라 다양한 기술이 적용 가능하며, 특히 HiPIMS 시스템으로서 완벽한 플랫폼입니다.

  • APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 또는 HI3 기술
  • 4개의 마그네트론과 및 동기화 된 양극 펄스 BIAS를 사용한 HiPIMS 스퍼터링
  • PACVD 및 질화 공정과도 결합 가능
  • 고객의 요구 사항에 따른 다양한 기술 개조 가능
특성 METAPLAS.DOMINO micra
유효 코팅 볼륨 Ø 450 mm x 500 mm
사용 가능 코팅 모듈 Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 아크 증발기 3 to 12
마그네트론 스퍼터 소스 1 to 4
사용 가능한 전원 공급 장치 DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
사용가능한 BIAS Bipolar pulse, middle frequency
플라스마 세척 All systems equipped with patented power etching process AEGD
표준 모재 테이블
(요청 시 다른 테이블 제공 가능)
6 축

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