DOMINO kila flex 最高の技術水準と柔軟性を備えたPVD装置

DOMINO kila flex は、柔軟性があり、顧客志向でメンテナンスの少ない製造装置の要件をすべて満たしており、特別な要求に対してすべて対応します。そのため、自由にアクセスできる八角形のPVDチャンバーには搬入出用のドアが2つあり、自動化とメンテナンスの低減により、簡単な操作のための理想的なプラットフォームとなっています。同時に、アークやスパッタリング技術に加えて、PACVDプリカーサシステムも使用可能で、システムに統合することができます。

• 最大6個のフランジにAPAアーク、HiPIMSスパッタリングまたはHI3テクノロジー
• 新エッチングテクノロジー ADVANCED AEGD
• チャンバーの2枚のドアにより、両側からアクセス可能な二重壁の水冷式ステンレス製チャンバー
• 自動化プロセスのためのローディングドアの自動開閉機能
• 各種PACVDプロセス用プリカーサ、窒化プロセスとの組み合わせも可能
• お客様のご要望に応じて、様々な技術や分析システム（プラズマ）のレトロフィットを提供

• 自動積載・コーティング・アンローディング用LOADY（自動ガイド台車）－オプションとして利用可能