DOMINO kila flex は、柔軟性があり、顧客志向でメンテナンスの少ない製造装置の要件をすべて満たしており、特別な要求に対してすべて対応します。そのため、自由にアクセスできる八角形のPVDチャンバーには搬入出用のドアが2つあり、自動化とメンテナンスの低減により、簡単な操作のための理想的なプラットフォームとなっています。同時に、アークやスパッタリング技術に加えて、PACVDプリカーサシステムも使用可能で、システムに統合することができます。
- 最大6個のフランジにAPAアーク、HiPIMSスパッタリングまたはhybridテクノロジー
- 新エッチングテクノロジー ADVANCED AEGD
- チャンバーの2枚のドアにより、両側からアクセス可能な二重壁の水冷式ステンレス製チャンバー
- 自動化プロセスのためのローディングドアの自動開閉機能
- 各種PACVDプロセス用プリカーサ、窒化プロセスとの組み合わせも可能
- お客様のご要望に応じて、様々な技術や分析システム（プラズマ）のレトロフィットを提供
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自動積載・コーティング・アンローディング用LOADY（自動ガイド台車）－オプションとして利用可能
| 特性 | DOMINO kila flex |
|---|---|
| Equipment type | flex (2 chamber doors) |
| コーティング使用可能容積 | Ø 620 mm x 700 mm |
| 利用可能なコーティングモジュール | アーク,スパッタ, HiPIMS, (Hybrid, 窒化) |
| APAアークソース取り付け可能数 | 4 - 16 |
| スパッタ式ソース取り付け可能数 | 1 - 6 |
| 使用可能な電源 | DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能) |
| 使用可能な BIAS | 双極性パルス, middle frequency |
| プラズマ洗浄 | 全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備 |
| 基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能) |
9 軸 |