Os revestimentos BALINIT DYLYN são usados para a redução de contaminação e condutividade de plataformas giratórias. BALINIT A (TiN) é mais usado para uma condutividade mais alta do que DYLYN.
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Mecanismos de transferência de pastilhas de semicondutores
| Solução | Material de revestimento | Tecnologia de Revestimento | Dureza do revestimento HIT [GPa] | Coeficiente de atrito (a seco) em oposição ao aço | Temp. máx. de operação [°C] | Temperatura do processo [ºC] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0,6 | 600 | < 500 |
|
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