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반도체 웨이퍼 전달 메커니즘

BALINIT DYLYN 코팅은 오염과 조정 가능한 전도성을 줄이기 위한 용도로 사용됩니다. BALINIT A (TiN)는 DYLYN보다 높은 전도성이 필요한 경우 사용됩니다.

솔루션 코팅 재료 코팅 기술 코팅 경도 HIT [GPa] 마찰 계수 (건식) 대 강철 최대 서비스 온도 [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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