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반도체 웨이퍼 전달 메커니즘

BALINIT DYLYN 코팅은 오염과 조정 가능한 전도성을 줄이기 위한 용도로 사용됩니다.
BALINIT A (TiN)는 DYLYN보다 높은 전도성이 필요한 경우 사용됩니다.

Solution Coating material Coating technology 코팅 경도 HIT [GPa] Coefficient of friction (dry) vs. steel Max. service temp. [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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