Choose your country / language

Mécanismes de transfert de Wafers

Les revêtements BALINIT DYLYN sont utilisés pour réduire la contamination et pour leur conductivité accordable. 
BALINIT A (TiN) est utilisé lorsqu'une conductivité supérieure à celle de DYLYN est requise.

Solution Coating material Coating technology Dureté du revêtement HIT [GPa]. Coefficient of friction (dry) vs. steel Max. service temp. [°C] Température du procédé [°C]
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 300 < 220
Download
TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

Des commentaires ou des questions ? N'hésiter pas à nous contacter !

keyboard_arrow_up