Les revêtements BALINIT DYLYN sont utilisés pour réduire la contamination et pour leur conductivité accordable. BALINIT A (TiN) est utilisé lorsqu'une conductivité supérieure à celle de DYLYN est requise.
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Mécanismes de transfert de Wafers
| Solution | Matériau de revêtement | Technologie de revêtement | Dureté du revêtement HIT [GPa]. | Coefficient de friction (sec) acier | Temp. de service max. [°C] | Température du procédé [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
|
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