Sputtering gehört zu den Verfahren für PVD Beschichtungen
Was sind PVD-Beschichtungen?
PVD ist die Abkürzung für den englischen Begriff "Physical Vapour Deposition". Es handelt sich dabei um einen Prozess, der unter Vakuum und in den meisten Fällen bei Temperaturen zwischen 150 und 500°C durchgeführt wird.
Wie funktioniert das PVD-Verfahren?
Beim PVD-Verfahren wird das hochreine, feste Schichtmaterial (Metalle wie Titan, Chrom und Aluminium) entweder unter Hitze aufgelöst (Verdampfen) oder durch den Beschuss mit Ionen zerstäubt (Sputtern). Gleichzeitig wird ein Reaktivgas (z. B. Stickstoff, kohlenstoffhaltiges Gas) zugeführt, das sich mit den Metalldämpfen verbindet und auf den Werkzeugen bzw. Bauteilen als dünne, fest haftende Schicht niederschlägt. Eine einheitliche Schichtdicke wird erreicht, indem die Teile bei konstanter Geschwindigkeit über mehrere Achsen gedreht werden.
Die Beschichtungseigenschaften (wie zum Beispiel Härte, Struktur, chemische und thermische Beständigkeit, Haftung) unserer PVD-Beschichtungen können präzise gesteuert werden.
Zu den Physical Vapour Deposition Verfahren gehören Arc-Verdampfung, Sputtern, Ionenplattierung und Enhanced Sputtern.
Neben den allgemein bekannten PVD-Verfahren bietet Oerlikon Balzers auch verschiedene selbst entwickelte Verfahren an.
