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METAPLAS.DOMINO kila

Die DOMINO kila ist ausgelegt für die Produktion kostengünstiger Schichten auf Basis der APA Arc und der ADVANCED AEGD Technologie. Sie bietet standardisierte Technologiepakete zu einem attraktiven Preis und kann trotzdem mit einigen weiteren Technologien wie Sputtern und Nitrieren nachgerüstet werden.

  • APA Arc Technologie mit bis zu 4 Flanschen
  • Kurze Zykluszeiten und hohe Schichtraten
  • Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
  • Nachrüstung von Nitrier- und Sputter- Technologie möglich
Eigenschaften METAPLAS.DOMINO kila
Verwendbares Beschichtungsvolumen Ø 620 mm x 700 mm
Erhältliche Beschichtungsmodule Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
ARC-Verdampfer 4 bis 16
Magnetron-Sputterquellen 1 bis 4
Verfügbare Leistungsversorgungen DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage)
Verfügbare BIAS bipolar gepulst, Mittelfrequenz
Plasma-Ätzen Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet
Standard Substrattisch
(weitere auf Anfrage)
9 Spindeln

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