Die DOMINO kila ist die ideale Wahl für Anwender, die eine wirtschaftliche Beschichtungsproduktion mit bewährter Technologie und hoher Produktivität suchen. Sie vereint hervorragende Beschichtungsqualität mit kurzen Zykluszeiten und bietet standardisierte Technologiepakete für den effizienten industriellen Einsatz. Gleichzeitig ist die Anlage flexibel und kann bei zukünftigen Anforderungen um zusätzliche Technologien wie Sputtern oder Nitrieren erweitert werden.
- APA Arc Technologie mit bis zu 4 Flanschen
- Kurze Zykluszeiten und hohe Schichtraten
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Nachrüstung von Nitrier- und Sputter- Technologie möglich
| Eigenschaften | DOMINO kila |
|---|---|
| Anlagentyp | compact (1 Kammertür) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 620 mm x 700 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Nitriding |
| Als Upgrade erhältlich | Sputter, HiPIMS, Hybrid |
| ARC-Verdampfer | 4 bis 16 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 4 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, HiPIMS |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst |
| Plasma-Ätzen | Mit ADVANCED AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
9 Spindeln |