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METAPLAS.DOMINO kila

DOMINO kila는 APA Arc 및 ADVANCED AEGD 기술을 기반으로 하는 비용 효율적인 코팅 생산용으로 설계되었습니다. 표준화 된 기술 패키지를 매력적인 가격으로 제공하며 스퍼터링 및 질화와 같은 몇 가지 추가 기술의 업그레이드가 가능합니다.

  • 최대 4개의 플랜지를 갖춘 APA Arc 기술
  • 높은 속도 및 짧은 공정 시간
  • 새로운 에칭 기술인 ADVANCED AEGD
  • 스퍼터링 및 질화 기술 개조 가능
특성 METAPLAS.DOMINO kila
유효 코팅 볼륨 Ø 620 mm x 700 mm
사용 가능 코팅 모듈 Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 아크 증발기 4 to 16
마그네트론 스퍼터 소스 1 to 4
Available power supplies DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
Available BIAS Bipolar pulse, middle frequency
플라스마 세척 All systems equipped with patented power etching process AEGD
표준 모재 테이블
(요청 시 다른 테이블 제공 가능)
9 축

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