DOMINO kila는 APA Arc 및 ADVANCED AEGD 기술을 기반으로 하는 비용 효율적인 코팅 생산용으로 설계되었습니다. 표준화 된 기술 패키지를 매력적인 가격으로 제공하며 스퍼터링 및 질화와 같은 몇 가지 추가 기술의 업그레이드가 가능합니다.
- 최대 4개의 플랜지를 갖춘 APA Arc 기술
- 높은 속도 및 짧은 공정 시간
- 새로운 에칭 기술인 ADVANCED AEGD
- 스퍼터링 및 질화 기술 개조 가능
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DOMINO kila는 APA Arc 및 ADVANCED AEGD 기술을 기반으로 하는 비용 효율적인 코팅 생산용으로 설계되었습니다. 표준화 된 기술 패키지를 매력적인 가격으로 제공하며 스퍼터링 및 질화와 같은 몇 가지 추가 기술의 업그레이드가 가능합니다.
특성 | METAPLAS.DOMINO kila |
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유효 코팅 볼륨 | Ø 620 mm x 700 mm |
사용 가능 코팅 모듈 | Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding |
APA 아크 증발기 | 4 to 16 |
마그네트론 스퍼터 소스 | 1 to 4 |
Available power supplies | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
Available BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
플라스마 세척 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
표준 모재 테이블 (요청 시 다른 테이블 제공 가능) |
9 축 |