Die DOMINO giga flex ist die größte Anlage der DOMINO-Familie und wurde für hohe Produktionsvolumen sowie besonders große Bauteile entwickelt. Teile mit einem Gewicht von bis zu 3 Tonnen und einer Höhe von bis zu 1,5 Metern lassen sich ebenso effizient beschichten wie Produkte in der Großserienfertigung. Durch die Kombination aus maximaler Beschichtungskapazität und niedrigen Stückkosten pro Teil eignet sich die Anlage ideal für anspruchsvolle industrielle Produktionsumgebungen. Arc- und Sputter-Technologien können integriert und bedarfsgerecht erweitert werden, um spezifische Beschichtungsanforderungen zu erfüllen.
- APA Arc Technologie mit bis zu 4 Flanschen und/oder Magnetron Sputtern
- Beladungen von bis zu 3 Tonnen und Bauteile von 1200 mm Durchmesser
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Nachrüstung mit Nitrier- und Sputter-Technologie möglich
- Niedrigste Stückkosten bei voller Beladung
| Eigenschaften | DOMINO giga flex |
|---|---|
| Anlagentyp | flex (2 Kammertüren) |
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 1,200 mm x 1,500 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| ARC-Verdampfer | 8 bis 32 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 4 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, Mittelfrequenz (MF), HiPIMS, (HF auf Anfrage) |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst, Mittelfrequenz |
| Plasma-Ätzen | Alle Anlagen sind mit dem patentierten, leistungsstarken Ätzprozess AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
Bis zu 32 Spindeln |