DOMINO 기가 플렉스는 당사 PVD 시스템 중 가장 큰 제품입니다. 무게 3톤, 높이가 1.5미터인 부품을 최저의 비용으로 자동차 산업의 양산 프로세스와 같이 효과적으로 코팅할 수 있습니다.
이 시스템은 새로운 고급 AEGD 식각 기술을 사용하여 APA 아크 층과 마그네트론 스퍼터 층을 생성하며, 예를 들어 장식 및 기타 코팅 용도로 아크와 스퍼터링이 결합된 시스템으로 업그레이드할 수 있습니다.
- 최대 4개의 플랜지 혹은 마그네트론 스퍼터링이 포함된 APA Arc 기술
- 최대 3톤의 무게 및 직경 1200mm x 높이 1500mm제품 코팅 가능
- 새로운 에칭 기술인 ADVANCED AEGD
- 질화 및 스퍼터링 기술로 개조 가능
- 풀 배치 장입시 개당 최저 비용 가능
| 특성 | DOMINO giga flex |
|---|---|
| Equipment type | flex (2 chamber doors) |
| 유효 코팅 볼륨 | Ø 1,200 mm x 1,500 mm |
| 사용 가능 코팅 모듈 | Arc, Sputter, HiPIMS, Hybrid, Nitriding |
| APA 아크 증발기 | 8 to 32 |
| 마그네트론 스퍼터 소스 | 1 to 4 |
| 사용 가능한 전원 공급 장치 | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| 사용가능한 BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| 플라스마 세척 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| 표준 모재 테이블 (요청 시 다른 테이블 제공 가능) |
最大32軸 |