YOF には、フッ化化学物質に対する優れた耐腐食性があります。CoO の抑制や金属汚染の防止などの利点があります。
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エッチング チャンバー部品
| ソリューション | コーティング材 | コーティング技術 | コーティング硬さHIT [GPa] | 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール | 最高使用温度 [°C] | 処理温度 [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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