L'YOF offre un'eccellente resistenza alla corrosione da parte delle sostanze chimiche fluorurate. Tra i benefici, figurano una riduzione dei costi di produzione e una bassa contaminazione metallica.
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Componenti della camera per etching
| Soluzione | Materiale di rivestimento | Tecnologia Coating | Durezza del rivestimento HIT [GPa] | Coefficiente d’attrito (a secco) vs. acciaio | Massima temp. di esercizio [°C] | Temperature di processo [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YOF | Magnetron PVD | ~ 12 | ~ 0.6 | > 1000 | < 250 |
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