Che cos’è il rivestimento PACVD?
Oerlikon Balzers produce rivestimenti al carbonio privi di metalli con il processo PACVD ad alta frequenza.
L'impostazione di questo processo è simile a quella dello Sputtering, che viene spesso utilizzato in combinazione con la CVD (Deposizione Chimica a Vapore). Nel PACVD, un gas contenente gli elementi di rivestimento viene introdotto nella camera del vuoto e viene innescata una scarica elettrica alimentata da una tensione alternata.
Questo processo genera atomi di carbonio e idrogeno liberi (ioni e radicali), che formano un rivestimento denso su utensili e componenti. Le proprietà del rivestimento possono essere influenzate dalla variazione della tensione applicata.
