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真空螺杆泵

BALINIT FUTURA NANO 通常可保护真空螺杆泵不受磨损。Y₂O₃ 已经证明了对氟化化学物的耐刻蚀性,并可延长零部件的服务寿命。

解决方案 涂层材料 涂层技术 涂层硬度HIT [GPa] 摩擦系数(干)与钢的比较 最高工作温度[°C] 工艺温度[°C]
TiAlN Arc 33 +/- 3 ~0.6 900 500

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