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Hochentwickelte Spritz- und Reparaturbetriebe, die auf die Wafer- und Flachbildschirmherstellung spezialisiert sind, sehen sich einer wachsenden Zahl von Herausforderungen gegenüber: immer höhere Anforderungen an Leistung und Ertrag, kurze Entwicklungszyklen und grosser Kostendruck in einem wettbewerbsintensiven Umfeld.

Mehr Leistung, geringere Betriebskosten

Und auch auf der anwendungstechnischen Seite muss ein ganzes Spektrum von Herausforderungen bei elektrostatischen Spannvorrichtungen, Kammerkomponenten und Prozesskits (Abschirmungen & Ringe) gemeistert werden. Diese reichen von erhöhten Anforderungen an die Ebenheit, Substratgrössen und Korrosionsbeständigkeit bis zur Reduzierung der Partikelerosion und verbesserte Ein- und Entspannung. 

Die hochreinen Werkstoffe von Oerlikon Metco in Verbindung mit unseren Hochleistungs-Plasmaspritzsystemen zeigen ein konstantes Spritzverhalten und bieten höchste Beschichtungsqualität:

  • Sehr gute elektrische Isolierung und ausgezeichnete elektrische Eigenschaften für elektrostatische Halter
  • Glatte und dichte Beschichtungen für höhere Leistung bei elektrostatischen Haltern
  • Ausgezeichneter Korrosionsschutz, Partikelerosions- und Plasmabeständigkeit für Kammerkomponenten – für höhere Leistung und grössere Erträge
  • Niedrigporöse, glatte Beschichtungen fördern eine verbesserte Plasmaätz- und Erosionsbeständigkeit – für geringere Stillstandszeiten beim Kunden

Unser einzigartiges, umfassendes Angebot – Pulver und Plasmaspritzpistolen, gepaart mit überlegenem Prozess-Know-how und Unterstützung in der Entwicklung – ist unübertroffen in der Branche. Unsere Kunden profitieren von geringeren Betriebskosten, längerer Lebensdauer der Teile, höherem Produktions- und Produktivitätsertrag und als Resultat davon geringeren Gesamtbetriebskosten.

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