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반도체 백엔드 애플리케이션

BALINIT DYLYN 코팅의 전기적 조정 가능성은 완성된 기기에서 원하지 않는 정전기 방전(ESD)을 차단하는 데 도움을 줍니다.

솔루션 코팅 재료 코팅 기술 코팅 경도 HIT [GPa] 마찰 계수 (건식) 대 강철 최대 서비스 온도 [°C] 공정 온도
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
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TiN Arc 30 +/- 3 ~0.6 600 < 500

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