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步入PVD电弧技术的新维度
这项创新技术提供了无与伦比的多功能性,这要归功于其引弧针和高端电弧源设计之间完美调谐的相互作用,以及快速调节的电磁场。
为了开发高效、可靠和高产的系统,并实现均匀的涂层,这些重要组件都得到了显著增强。AAT 为您带来前所未有的高质量涂层。
高端弧源设计
面向未来的涂层结构
快速简便地改变涂层结构,并且支持新的涂层结构
更高的生产效率,更低的生产成本
更大的装炉量,更高的沉积速率,更高的靶材利用率,更短的批次时间
多种功能多种靶材的新概念
可实现从梯度涂层到多层、纳米多层的各种涂层结构
能源和资源效率
更低的能耗和高效的冷却/加热系统
兼容上一代产品
兼容附件,包括大盘、夹具、装载台、推车
先进的腔室设计
三种来源提供卓越的涂层质量,多达八种靶材,简化靶材交换过程 三个弧源可实现卓越的涂层质量,多达八种靶材,靶材更换简单快捷
电弧蒸发过程中,大电流的弧斑在靶材表面移动,靶材材料迅速融化,金属蒸汽会在工件上凝结。这一过程是爆发式的,从而形成金属液滴,可导致粗糙的涂层表面。通入反应气体可形成化合物。
AAT是一个真正的游戏规则改变者,它将改变您的PVD涂层工艺,提供无与伦比的效率、质量和可持续性。
通过INVENTA系统,您可以体验到提高生产力和降低成本的带来的收益,同时可确保卓越的性能。
探索PVD电弧技术的未来,将您的涂层提升到新的高度。