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METAPLAS DOMINO pica
METAPLAS DOMINO kila
METAPLAS DOMINO kila flex
METAPLAS DOMINO giga flex

根据个人需求量身定制多种模块,创建一个伟大的单元 –这是METAPLAS.DOMINO的基础。在工具制造行业近30年的经验开发出此最先进的薄膜设备。

对欧瑞康巴尔查斯来说,这意味着提供高效的系统解决方案,甚至设定表面处理的趋势。薄膜设备的模块化和灵活性概念允许进一步的扩展和升级。

  • 工艺稳定性高
  • 周期时间短
  • 单件成本低

Main modules

Arc

创新的APA蒸发器技术(先进的等离子辅助)基于阴极真空电弧,为新的层结构提供了多种开发可能性。

优势:

  • 靶材使用率高,降低靶材成本
  • 沉积率高
  • 磁场可调节
  • 靶材更换时间短
  • 等离子体密度高
  • 等离子体密度高
  • 完美的涂层结合力

HiPIMS

HiPIMS代表高功率脉冲磁控溅射。

优势:
  • 电离率高(类似于电弧法)

  • 高功率密度,从 100 到1000 W/cm2

  • 等离子密度非常高

  • 可以通过等离子参数设置来调节层结构

  • 涂层非常光滑

  • 完美的涂层结合力

  • 在低基材温度下沉积致密的涂层

Additional modules

溅射

在溅射工艺中,通过高能离子(Ar)轰击靶材,分离成原子进而转化成气相。通过结合溅射材料和其他气体,将涂层沉积在基材上。

优势:
  • 可以溅射多种材料

  • 多种工艺变量可用

  • 光滑的涂层

  • 结合功率刻蚀工艺AEGD获得好的涂层结合力

氮化

使用氮化模块,可在同一个系统、同一个批次,在PVD和/或PACVD涂层工艺之前进行等离子氮化工艺。由此生成一个硬化层,为后续的PVD/PACVD涂层提供完美的支撑。

优势:
  • 优化工具和零部件属性

  • 替代昂贵的基材

  • 显著延长寿命

  • 可以应用所有PVD涂层

DLC

DLC就是类金刚石涂层,指一系列具有超低摩擦系数的非晶碳涂层。使用DLC模块,可以通过使用PVD和/或PACVD工艺来生成不同的DLC涂层。标准DLC涂层包括不含金属或含金属的碳基涂层。

优势:
  • 完美的涂层结合力

  • 高耐磨性

  • 低摩擦系数

  • 光滑的涂层

ta-C

ta-C 就是不含氢的四面体非晶碳,指的是一组极硬、低摩擦的非晶碳涂层。使用ta-C模块可以生产不同的ta-C涂层。

优势:
  • 适用于比DLC更高的温度环境

  • 非常高的耐磨性

  • 完美的涂层结合力

  • 光滑的涂层

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