DOMINO micra Eine kompakte und vielseitige Lösung für eine kundenspezifische PVD-Lösung

Die DOMINO micra erfüllt die Anforderungen an fast alle Herausforderungen auf einer Plattform.
Sie erlaubt eine Ausrüstung mit verschiedensten Technologien nach Kundenanforderungen und bietet speziell als HiPIMS-Anlage eine perfekte Basis.

• APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder HI3-Technologie
• HiPIMS-Sputtern mit 4 Magnetrons und synchronisierter, bipolar gepulster BIAS
• Kombination auch mit PACVD und Nitrierprozess
• Nachrüstung unterschiedlichster Technologien je nach Kundenanforderungen