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METAPLAS.DOMINO kila flex는 특별한 요구 조건에 대응 가능할 만큼기술의 유연성이 우수하고 고객 지향적이며 장비 유지 보수를 최소화 할 수 있는 장비로써 요구되는 모든 사항들을 충족시켜 줍니다. 2개의 로딩 및 언로딩용 도어가 있어 자유롭게 접근할 수 있는 8각형 PVD 챔버는 자동화를 위한 이상적인 플랫폼으로, 유지 보수의 필요성을 최소화 하고 손쉽게 조작할 수 있습니다. 또한, Arc 및 스퍼터링 기술 뿐 만 아니라 PACVD 전도 물질 시스템 역시 사용 및 시스템 통합이 가능합니다.
The flex versions are perfectly designed for future integration of newly developed technology as well as for example integration into automated production processes.
| 특성 | METAPLAS.DOMINO kila flex |
|---|---|
| 유효 코팅 볼륨 | Ø 620 mm x 700 mm |
| 사용 가능 코팅 모듈 | Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding |
| APA 아크 증발기 | 4 to 16 |
| 마그네트론 스퍼터 소스 | 1 to 6 |
| 사용 가능한 전원 공급 장치 | DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request) |
| 사용가능한 BIAS | Bipolar pulse, middle frequency |
| 플라스마 세척 | All systems equipped with patented power etching process AEGD |
| 표준 모재 테이블 (요청 시 다른 테이블 제공 가능) |
9 축 |
