DOMINO kila flex는 특별한 요구 조건에 대응 가능할 만큼기술의 유연성이 우수하고 고객 지향적이며 장비 유지 보수를 최소화 할 수 있는 장비로써 요구되는 모든 사항들을 충족시켜 줍니다. 2개의 로딩 및 언로딩용 도어가 있어 자유롭게 접근할 수 있는 8각형 PVD 챔버는 자동화를 위한 이상적인 플랫폼으로, 유지 보수의 필요성을 최소화 하고 손쉽게 조작할 수 있습니다. 또한, Arc 및 스퍼터링 기술 뿐 만 아니라 PACVD 전도 물질 시스템 역시 사용 및 시스템 통합이 가능합니다.
- 최대 6개의 플랜지를 갖춘 APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 및 HI3 기술
- 새로운 에칭 기술인 ADVANCED AEGD
- 2개의 챔버 도어로 양쪽에서 접근할 수 있는 이중 벽, 수냉식 스테인리스 강 챔버
- 자동화 공정을 위한 로딩 도어 자동 개폐
- 다양한 PACVD 공정을 위한 재료의 사용 및 질화 공정의 결합
- 고객 요구 사항에 따라 다양한 기술 및 분석 시스템(플라즈마) 장착
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자동 적재, 코팅 및 하역을 위한 LOADY(자동 유도 차량) – 옵션으로 제공
