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BALORA HALONA

BALORA HALONA Protection anticorrosion supérieure pour des performances durables dans l’industrie des semi-conducteurs

Composant pour chambre de gravure de semi-conducteurs

BALORA® HALONA est un revêtement PVD conçu pour les procédés de gravure plasma à haute exigence, offrant une résistance exceptionnelle à l’abrasion et aux attaques chimiques — répondant aux besoins actuels et futurs de l’industrie des semi-conducteurs.

  • Conçu pour être pratiquement inerte face aux attaques chimiques des plasmas fluorés
  • Idéal pour les procédés de gravure sub-10 nm, sur des composants de chambre plans et de formes complexes
  • Faible génération de particules, durée de vie prolongée des composants, rendement élevé et réduction du coût total de possession (CoO)
  • Densité du revêtement : 100 %
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